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Rev. Met. Paris
Volume 96, Number 5, Mai 1999
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| Page(s) | 667 - 676 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/metal/199996050667 | |
| Published online | 16 January 2017 | |
Mesure de la conductivité thermique des couches minces d’oxyde
Experimental determination of the thermal conductivity of oxide thin films
La conductivité thermique du matériau en couche mince diffère de celle du matériau massif. On présente une méthode de mesure de la conductivité thermique de films diélectriques submicroniques. Elle est fondée sur l’analyse de l’évolution de l’échauffement superficiel d’un film d’or, déposé sur le film diélectrique, consécutif à l’absorption d’une impulsion laser. L’échauffement est déterminé à partir du relevé des variations de la résistance électrique du film d’or.
© La Revue de Métallurgie 1999
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